Ellipsometrimittaukset

Ellipsometrimittaukset

Ellipsometriset materiaalianalyysit

Tarjoamme ellipsometrimittauksia ohuiden kalvojen rakenteiden ja optisten ominaisuuksien määrittämiseen.

Käytössämme on näkyvän alueen ja lähi-infrapunan spektraalinen ellipsometri materiaalien optisten ominaisuuksien ja ohuiden kalvojen paksuuksien mittaamiseen.

Sovelluskohteisiin kuuluvat ohuet optiset ja metalliset kalvot. Ohut kalvo tarkoittaa yleensä alle 5 mikrometrin paksuutta.

Laitteistomme kattaa

• A. Woollam VASE spektraalinen ellipsometri 260 – 2060 nm aaltopituusalueella.

Palvelumyynnissä noudatetaan Itä-Suomen yliopiston vuosittain tarkistettavaa hinnoittelua.

Yhteyshenkilö:

Yli-insinööri Pertti Pääkkönen
pertti.paakkonen@uef.fi
0505056376
Itä-Suomen yliopisto, Yliopistokatu 7, 80100 Joensuu