Optiikan valmistus

Mikro- ja nanorakenteiden valmistus

Tarjoamme mikrometrin ja nanometrin kokoisten pintarakenteiden valmistuspalvelua litografisin menetelmin.

Palvelu sisältää rakenteiden suunnittelun, valmistuksen ja evaluoinnin. Tarjoamme koko valmistusketjun tai yksittäisen osan, esimerkiksi valmistuksen asiakkaan suunnitelman mukaisesti.

Käytämme elektronisädekirjoitusta sekä erilaisia litografisia valmistusprosesseja puhdastilaympäristössä.

Sovelluskohteisiin kuuluvat mikro- ja nanorakenteita hyödyntävät optiset, kosketukselliset, pintaominaisuuksiltaan muokatut sekä funktionaaliset pinnat.

Laitteistomme kattaa mm:

  • Raith EBPG5000+ES elektronisädekirjoitin
  • LAB18 tyhjiöhöyrystin (PVD)
  • Quorum Q300T sputteri
  • Beneq TFS-200 atomikerroskasvatus (ALD)
  • Oxford Instruments Plasmalab 100 and 80 RIE/ICP kuivaetsausjärjestelmät
  • Obducat EITRE-3 nanoimprint-litografia
  • Jenoptik EFNI-01 nikkelielektrolyysi

Käytettävissä olevat valmistusmenetelmät mikro-ja nano-optiikkaan:

Mikro- ja nanokuviointi

    • Elektronisädelitografia
    • Ohutkalvojen valmistus
      • Tyhjiöhöyrystys
      • Sputterointi
      • Atomikerroskasvatus (ALD)
    • Etsaus
      • Reaktiivinen ionietsaus (RIE)
      • Märkäetsaus
    • Nanorakenteiden kopiointi
      • Nanopaino (NIL)
      • Kuumapaino
      • Rullalta rullalle painaminen
      • Nikkelin elektrolyysi

Yhteyshenkilö:

Yli-insinööri Pertti Pääkkönen
pertti.paakkonen@uef.fi
0505056376
Itä-Suomen yliopisto, Yliopistokatu 7, 80100 Joensuu

Suora 3D tulostus

Tarjoamme suoratulostettavan optiikan valmistusta.

Palvelu sisältää komponentin suunnittelun, valmistuksen ja evaluoinnin. Tarjoamme koko valmistusketjun tai yksittäisen osan, esimerkiksi valmistuksen asiakkaan suunnitelman mukaisesti.

Käytämme polymeerin suoratulostusta inkjet-menetelmällä.

Sovelluskohteisiin kuuluvat senttimetrikoon vapaamuotoisia pintoja hyödyntävät muoviset optiset komponentit. Menetelmä sopii erityisesti prototyyppivalmistukseen.

Sovelluskohteisiin kuuluvat senttimetrikoon vapaamuotoisia pintoja hyödyntävät muoviset optiset komponentit. Menetelmä sopii erityisesti prototyyppivalmistukseen.

Laitteistomme kattaa:

  • Kustomoitu inkjet 3D-tulostin
  • Lukuisia SLA-pohjaisia 3D-tulostimia

Yhteyshenkilö:

Petri Karvinen, tutkimuspäällikkö
e-mail: petri.karvinen@uef.fi
p. +358 50 324 7678
Petri Karvinen - UEFConnect